U MEMSplit laboratorij stigao je i uređaj za optičku litografiju (mask aligner) austrijske tvrtke EV Group Europe & Asia/Pacific GmbH. Budući da će uređaj biti smješten u žutoj tj čistoj sobi, sobu je trebalo pripremiti. Fotografije pripreme žute sobe i instaliranog uređaja pogledajte u galeriji.